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硅片作為半導(dǎo)體、光伏及微電子等領(lǐng)域的核心材料，其厚度精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與性能。不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)厚度測(cè)量提出多樣化需求，催生出一系列精準(zhǔn)高效的測(cè)量技術(shù)。本文結(jié)合技術(shù)原理與實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景，系統(tǒng)闡述多種硅片厚度測(cè)量方法。一、接觸式測(cè)量：機(jī)械與壓電技...
HerzTS主動(dòng)隔振臺(tái)介紹：在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體代表相關(guān)的信息技術(shù)，基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù)，原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn))，振動(dòng)、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測(cè)量環(huán)境的抑制因素。在納米技術(shù)中，為了獲得可靠的結(jié)果，使用充氣被動(dòng)隔振臺(tái)無(wú)法隔離低頻振動(dòng)，此時(shí)需要主動(dòng)隔離。主動(dòng)式隔振系統(tǒng)“TS系列”將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測(cè)量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。HerzTS主動(dòng)隔振臺(tái)特點(diǎn)：1、在全部的6個(gè)自由度范圍...